이름 : 심예은
Tel : 031-750-8570
E-Mail : yeeun415@gachon.ac.kr
- 시료의 표면형상을 3차원적 이미지로 수 나노미터 형상까지 관찰
- EDS, BSE 가능
- sample size : 5cm*5cm (4inch wafer 측정 가능)
- 배율 : ×25 to ×1,000,000
전자빔을 이용한 현미경으로 시료의 표면형상을 3차원적 이미지로 수 나노미터 형상까지 확인 가능