이름 : 손민지

Tel : 031-750-8726

E-Mail : smj5279@gachon.ac.kr

물질의 원자 단위까지 볼 수 있는 초정밀 나노 계측 장비이다. 시료표면과 탐침사이에 반발력을 일정하게 유지하면서 탐침 높이의 공간적인 분포를 이미지로 변환시켜 표면을 관찰한다. 나노 단위의 해상도로 재현성 있는 데이터를 제공한다. 원자수준의 분해능으로 표면 특성을 측정하여 기존의 광학 현미경으로는 얻을 수 없는 분해능의 나노 구조 표면 특성을 얻을 수 있는 현미경이다. 

Resolution : 0.05nm 

Position detector noise : < 0.25nm (bandwidth: 1kHz) 

Out-of-plane motion : < 2nm (over 40µm scan) 

Motorized Stage Sample size : up to 50mm x 50mm, up to 20mm thickness Sample weight : up to 500g 

XY stage travel : 20mm x 20mm Z travel : 25mm 

Focus travel : 15mm 

Z Scanner Range Guided high-force flexure scanner Scan range : 15µm 

- 시편표면과 cantilever 사이의 atomic force를 측정하여 시편의 표면 형상 및 

  전기·화학·기계적 특성을 분석

- 반도체, 하드디스크, 평판디스플레이 연구

- 정밀화학, 분자생물학 등 연구