이름 : 김나영

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시험 용액 중의 분석 원소를 유도 결합 플라즈마로 이온화하여, 이온화된 원소의 질량/전하수의 비(m/z)에 따라 분리된 이온 스펙트럼과 그의 강도에 의해 정성 또는 정량 분석하는 장비이다. 다원소 동시분석, 넓은 농도의 범위 분석, 적은 간섭 효과, 낮은 검출한계, 스펙트럼이 간단하여 정성, 정량 분석이 용이한 장점이 있다. DRC 기술을 사용하여 매트릭스 성분이 복잡한 시료에서도 Hot Plasma 조건으로 간섭 이온을 제거하여 반도체, 환경, 생체시료 중의 극미량 무기 원소 분석에 최적의 솔루션을 얻을 수 있다. 또한 시료 전처리 없이 유기물 직접 분석이 가능하며 반도체용 재료 및 환경, 생체시료 등의 초미량 무기원소 분석에 적합하다.

RF generator : 0.6-1.6KW, 40MHz

Source : 고온(6000K)의 argon plasma

DRC Gas : CH4, NH3(gas flow : 0 -1.4mL/min)

Detection limit 

  : 9Be<6ppt, 59Co<1ppt, 115In <0.2ppt, 238U<0.2ppt, 40Ca<2(DRC mode), 

    56Fe<0.7ppt(DRC mode)

Isotope ratio precision : 107Ag/109Ag < 0.08% RSD

Oxide and doubly charged species : CeO+/Ce+<3%, Ba2+/Ba+<3%

Stability : short term(3min)< 3% RSD, long term(4hr)< 4% RSD

Background signal 

  : < 2cps, at mass 220 , < 2cps, at mass 50.5(DRC mode)

Mass drift : 0.05amu/8hr이하, 0.1amu/month이하

Mass Spectrometer vacuum : 1×10-6 Torr이하

Detector Type : Discrete Dynode Electron Multipliper Tube

Quick change cassette type torch module

Smart Tuning, Auto Lens, Dual-stage detector

High speed Quadrupole Mass Spectrometer

Platinum Quick-Change Interface Cone

- AAS나 ICP-AES로 분석하기 어려운 음용수 또는 폐수 중의 중금속 분석

- 순수 무기 물질내의 불순물 측정

- 무기 및 유기화합물내의 미량, 희토류원소의 정량적 분석

- 암석 및 퇴적물중의 미량 및 희토류 원소 분석

- 강우, 담수 등 자연수중의 미량원소 분석

- 생물체내 중금속 분석

- 반도체시료의 Fe, Ca, K 등의 목적원소 분석(DRC 기능사용)

- 환경시료에 대한 ppt 수준의 분석(DRC 기능사용)

- 임상, 생체시료 중에서 Cr, As, V, Se 원소들의 ppt 수준의 분석(DRC 기능사용)