이름 : 김희경

Tel : 031-750-8727

E-Mail : hkkim@gachon.ac.kr

시료에 전자를 조사할 때 발생되는 Cathodoluminescence 현상을 이용하여 재료의 광학적 특성과 결함 등을 비접촉으로 측정할 수 있는 장비로서 전자선을 시료에 조사하여 방출된 광을 검출 할 수 있다. 일반 SEM에서 SE detector나 BSE detector를 통하여 볼 수 없는 정보를 제공하며 결정상의 결함이나 결정 성장에 대한 정보를 알 수 있으며, 결점 및 다양한 분석에 적용된다. 전자현미경과 Scanning TEM에 활용되어지는 전자빔의 입자성과 파동성을 이용한 분석능력을 가진 System으로서 SEM Chamber 내부에 보고자 하는 Sample이 전자빔과 반응하여 발생하는 미세한 광자들을 Light Guide를 통하여 집약 시키고, Spectrometer를 통하여 각 파장대의 Image와 Spectrum을 얻을 수 있다.

Spectral range : 200~1800nm

Temperature capability : 80~300K

High sensitivity peltier-cooled PMT detector(165nm to 930nm) with integral pre-amplifier Ge detector

Electron beam induced current(EBIC)

- SEM EDX와 함께 사용되어지며 시료 표면 등 재료의 특성파악을 하는데 사용

- 발광시료(반도체 시료) 등의 여러 가지 광전자(CL)를 Detecting

- 금속, 세라믹, 반도체, 고분자 합성체 등의 재료분야, 의학 등의 생체시료 조직 관찰