이름 : 김희경

Tel : 031-750-8727

E-Mail : hkkim@gachon.ac.kr

냉전계 방출 고해상도 주사 전자 현미경으로서 표본에 박막 및 반도체 재료의 초고해상도 이미징이 가능한 장비이며, 중합체 재료에 적합하다. X선 뿐만 아니라 2차 및 후방 산란 전자를 검출하도록 구성되어 있다. 시스템은 완전히 자동화되어 있으며 사용하기 쉬운 메뉴 구동 소프트웨어를 통해 작동된다. 표준 2차 전자 검출기(SE), 후방 산란 전자 검출기(BSD), 가탄 모노CL 음극 발광 검출기(CL)가 장착되어 있다. BSD는 고 에너지 전자가 원자핵에서 산란할 때 발생하는 에너지 변화에 민감하며, 감도를 통해 샘플 밀도의 변화를 매핑 할 수 있다. 

Accelerating voltage range : from 0.5keV to 30keV

2.5 nm resolution at 1kV ; 1.5nm resolution at 15kV

Magnification range : from 30X to 500.000X

PC-controlled five axis motorized stage

Specimen stage rotation 360˚ in continuous mode

Specimen tilt at 12mm working distance (WD) up to 45˚

Sample size up to 100 mm diameter x 17 mm high

Two secondary electron (SE) detectors

  : one above the objective lens, the other below

Digital image acquisition at 640 X 480, 1280 X 960, or 1560 X 1920 pixels

Fully digital imaging, image processing and archiving system

- 무기물 시료(금속 반도체 등) 표면 및 단면 구조 관찰

- 초미세가공 샘플의 구조 관측 및 평가

- EDX 성분분석

- Cathode Luminescence system분석