이름 : 한포근

Tel : 031-870-8727

E-Mail : lovepower313@gachon.ac.kr

고해상도 집속이온빔(FIB)과 고해상도 전계 방출 주사전자현미경(FESEM)을 결합한 장비로서 이온빔을 이용하여 샘플의 표면을 식각 또는 2차 이온 이미지를 관찰할 수 있다. 재료 표면 및 하부 조사에 매우 유용하여 금속, 세라믹, 반도체, 폴리머 및 생체 재료 등을 포함한 모든 건조 고형물에 적용될 수 있다. 

빔에 민감한 재료, 예를 들어 박막에 대한 연구에 적합하며, 고 에너지 이온 빔은 샘플 표면을 이미지화하거나 교차 세션을 밀링하는데 사용된다. 

High-resolution Field Emission-SEM column, with monopole magnetic immersion final lens, Schottky thermal field emitter, 60 degree objective lens geometry and heated objective apertures

Resolution @ optimum WD – 1.1nm @ 15kV(TLD-SE)

Resolution @ beam coincidence point

  : 1.5nm @ 15kV(TLD-SE), 2.0nm @ 5kV(TLD-SE)

Accelerating voltage : 2kV – 30kV

Probe current : 2.5pA – 37nA

- 샘플의 식각을 통한 단면 관찰 

- TEM 시편 제작 

- 2차 이온 이미징

- Pt증착을 이용한 패턴 형성